교수/연구 | Faculty/Research

연구실소개

마이크로머신 연구실

마이크로머신 연구실

Micro Sensors & Actuators

지도교수 : 김용권 교수

연구분야 : 전기에너지 시스템

연구실 소개 자료 :



  • 연구실소개 및 연구분야
  • 초소형 전기기계 및 센서를 설계 및 제작하고 응용하는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 분야.

    A. 연구 분야
    - 광학 소자 분야(Optical MEMS)
    - 광 기록 및 광 통신, 디스플레이, Spatial Light Modulator에 필요한 시스템 사양 및 응용 기술
    - 관성 센서 분야(Inertial Measurement Unit) - MEMS 가속도/각속도 센서 및 응용 기술 개발
    - 바이오 응용소자 분야(Bio MEMS) - 마이크로 펌프 및 밸브의 응용 기술, 세포 조작이나 융합, 유전자 분석 시스템에 필요한 사양 및 응용 기술
    - RF 소자 분야(RF MEMS) - Phased array antenna system 구현을 위한 phase shifter와 안테나 설계 및 제작 기술, 마이크로 웨이브를 이용한 암(cancer) 측정용 MEMS probe 제작 기술, 고주파 응용을 위한 단결정 실리콘 MEMS 스위치의 설계, 제작 및 측정 기술, millimeter wave용 Half coaxial transmission line filter, LTCC 기판을 이용한 RF MEMS 소자 패키징 기술
  • 최근 관심분야 및 주요 연구과제
  • A. 최근 관심분야
    Gyroscope, CE chip, BAC chip, RF switch, RF filter, RF probe, Micro lens, Single crystal silicon micro mirror array, Piezoelectric cantilever

    B. 주요 연구과제
    - 서울시 : 바이오칩 혁신 클러스터 거점 구축을 통한 신기술/신사업 창출
    - 보건복지부 : 뇌졸중 치료기구 개발을 위한 적혈구의 물리적 특성시험, Flexible 온도센서, 내열 절연 코팅기술 개발
    - 과학기술부 : 마이크로미러 어레이를 이용한 펩타이드 라이브러리의 합성 및 고속단백질 분석용 스크리닝 칩의 제작
    - 한국과학재단 : 나노 바이오 고속 탐색 시스템
    - 프론티어 : BAC (Bead Affinity Chromatography) chip
    - 창의적 연구 재단 : MEMS 위상 변조 배열 안테나, 유전용 측정용 RF MEMS 프로브
    - 파이오니어 연구단 : 나노 분광학을 이용한 질병의 다중 진단 및 탐색법 개발
  • 최근 주요 논문/특허
  • A. 논문
    [1] Min-Soo Kim, Jong-Ho Kim, Yoon-Sik Lee, Geon-Gyu Lim, Hyang-Beom Lee, Jae-Hyoung Park and Yong-Kweon Kim," Experimental and theoretical analysis of DEP-based particle deflection for the separation of protein-bound particles," Journal of Micromechanics and Microengineering, vol.19, no.1,pp. 015029, Jan., 2009.
    [2] Byung-Wook Yoo, Jae-Hyoung Park, I. H. Park, Jik Lee, Minsoo Kim, Joo-Young Jin, Jin-A Jeon, Sug-Whan Kim, and Yong-Kweon Kim, " MEMS micromirror characterization in space environments," Optics Express, vol.17, no.5, pp.3370-3380, Mar. 2009
    [3] Yun-Ho Jang and Yong-Kweon Kim." Pull-in voltage uniformity analysis of digitally-operated micro mirror array with torsional springs," Journal of Micromechanics and Microengineering, vol.19 no.3, pp. 035006, Mar., 2009

    B. 특허
    [1] SiOG 기판을 이용한 미세구동기 및 그 제조방법, 등록번호: 제 10-0591862호

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