교수/연구 | Faculty/Research

연구실소개

초미세기술연구실

초미세기술연구실

MIcrosystems & Nano Technology lab.

지도교수 : 전국진 교수

연구분야 : 반도체소자 및 집적회로

연구실 소개 자료 :



  • 연구실소개 및 연구분야
  • A. 연구실 소개
    본 연구실에서는 MEMS(Microelectromechanical Systems)와 관련된 다양한 연구를 수행하고 있다. 미세가공기술을 활용한 초소형 센서 또는 엑츄에이터, MEMS 소자, 나노 구조의 설계 및 제작 등이 주요 연구 분야이다. 현재 반도체 가공 기술 및 표면 현재 차세대 RF 무선 모듈을 위한 MEMS 스위치, 나노 와이어를 사용하여 전력을 생산하는 열전 발전소자, 나노 간격 구조 형성을 위한 광화학적 습식식각 기술 등의 연구가 연구실에서 진행 중이다.

    B. 연구 분야
    현재 연구실에서는 크게 RF, energy, nano의 3가지 분야에 대한 연구를 진행하고 있다.
  • 최근 관심분야 및 주요 연구과제
  • A. 최근 관심분야
    RF 팀은 IEEE 802.11n/WiMAX 및 휴대 인터넷용 RF IC의 filter bank에 집적되어 band selecting에 사용 되는 고성능 MEMS switch의 개발을 연구 목적으로 하고 있다. Energy 팀은 다양한 폐에너지를 전기 에너지로 전환할 수 있는 초소형 고효율 energy scavenger의 개발을 연구 목적으로 하고 있다. 현재 실리콘 나노와이어 다발을 제작하여 열전소자의 효율을 높이는 연구가 진행 중이다. Nano 팀은 나노 크기의 구조를 제작하는 기술과 나노 구조를 이용하여 고성능의 MEMS 소자를 개발하는 것을 연구 목적으로 하고 있다. 현재 전기화학적 습식식각을 이용한 나노 간격 홈의 식각 기술, 나노 와이어를 이용한 pressure sensor 등의 연구가 진행 중이다.

    B. 주요 연구과제
    차세대무선통신용 transceiver on chip 기술개발(차세대신기술개발사업)
  • 최근 주요 논문/특허
  • A. 논문
    [1] S Kang, H C Kim, K Chun, "A low-loss, single-pole, four-throw RF MEMS switch driven by a double stop comb drive", Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.19, No.3, pp.035011, Mar.2009
    [2] Sewan Park, Hyeon Cheol Kim, Min Hyung Yum, Ji Hoon Yang, Chong Yun Park, Kukjin Chun, Bose Eom, "A self-aligned single carbon nanotube field emission source fabricated by UV lithography", Nanotechnology, Vol.19, No.44, pp.445304, Nov.2008
    [3] Jinseok Kim, Jungyul Park, Kyounghwan Na, Sungwook Yang, Jeongeun Baek, Euisung Yoon, Sungsik Choi, Sangho Lee, Kukjin Chun, Jongoh Park, Sukho Park, "Quantitative evaluation of cardiomyocyte contractility in a 3D microenvironment", Journal of Biomechanics, Vol.41, No11, pp.2396-2401, Aug.2008
    [4] Yongwon Jeong, Kihwan Choi, Jinseok Kim, Doo Soo Chung, Byungkyu Kim, Hyeon Cheol Kim, Kukjin Chun, "PDMS micro bead cage reactor for the detection of alpha feto protein (AFP)", Sensors and Actuators B-Chemical, Vol.128, No.2, pp.349-358, Jan.2008

    B. 특허
    [1] 강성찬, 김현철, 전국진, "MEMS 구동기, MEMS 스위치 및 그 제작 방법", 국내특허(한국), 출원번호 : 10-2008- 0000658

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