[워크숍] 제 27회 ISRC Workshop 안내

2003-10-17l 조회수 16091



서울대학교 반도체공동연구소

Inter-university Semiconductor Research Center, S EOUL NATIONAL UNIVERSITY


  서울대학교 반도체공동연구소와 Hamamatsu Photonics K.K, MoDoo Tek co., LTD가 공동으로 주관하는 The 27th ISRC Workshop on "Photonics and Semiconductor Device Reliability"에 여러분을 초대합니다.
  VLSI 소자가 소형화됨에 따라 소자의 신뢰성 확보가 중요한 문제로 대두되고 있으며, failure mechanism에 대한 이해와 해석에 많은 과학 기술적 이론과 방법이 제시되고 있습니다. 본 연구소는 Hamamatsu Photonics KK, MoDoo Tek co., LTD와 공동으로, 이 분야의 국내외 전문가를 모시고 매년 정기적인 워크샵을 개최해 오고 있습니다. 특히 이번 워크샵에서는 NEC사의 Masayoshi Tagami님과 Fujitsu사의 Takuji Tanaka님, 그리고 삼성전자, 하이닉스 반도체, 서울대학교의 국내 전문가를 초청연사로 모셔서 극소형 MOS소자와 연결선의 특성 및 신뢰성분석법에 대한 강연을 마련하였습니다.
  본 워크샵에 이 분야 연구에 참여하시는 분들과 전기공학, 재료학 그리고 물리학, 화학 및 화학공학분야 대학원생들의 많은 참여를 기대합니다.

10:00-10:30
  Registration
 
10:30-10:40
  Opening Address
Young June Park
/Seoul National University
10:40-11:20
  Modeling and characterization of MOSFET for
  Leff=20nm
Takuji Tanaka
/Fujitsu
11:20-11:30
  Break
 
11:30-12:10
  Gate oxide reliability at W-poly metal gate
Hongseon Yang
/Hynix Semiconductor Inc.
12:10-13:40
  Lunch
 
13:40-14:20
  Defect Analysis in 100nm-width Cu Lines Using
  Optical Beam Induced Resistance Changes
  (OBIRCH)
Masayoshi Tagami
/NEC Corporation
14:20-15:00
  Stress and Stress-induced damages in Cu/
  Low-k Interconnects
Young-Chang Joo
/Seoul National University
15:00-15:20
  Break
 
15:20-16:00
  Photoemission and OBIRCH Analysis with Solid
  Immersion Lens(SIL) and Products Roadmap
Toshihiro Kume
/Hamamatsu Photonics K.K
16:00-16:40
  Contact process in memory device
Jong Myeong Lee
/Samsung
16:40-16:50
  Closing Address
Mr. Hitoshi IIDA
/Hamamatsu Photonics K.K
상기 연사진 및 발표주제는 추후 변경될 수 있습니다.


    등      록 : (1) 사전등록 : 10월 28일(화) 18:00까지
                           등  록  비 : 일반 20,000원 / 학생 10,000원 (자료집, 중식 제공)
                      (2) 현장등록 : 10월 29일(수) 이후 등록 및 당일 등록
                           등  록  비 : 일반 30,000원 / 학생 15,000원 (자료집, 중식 제공)

    방      법 : 등록비를 실명입금 후 워크샵 참가신청서를 작성하여 이메일(lhs@isrca.snu.ac.kr)
                      이나 팩스(02-875-2488)로 접수

    입금계좌 : 079-17-008547 / 농협 서울대점 (예금주 : 반도체연구소장)


      문의 : 임햇살 Tel: 880-5443 / E-mail :lhs@isrca.snu.ac.kr

서울특별시 관악구 신림동 산56-1
전화 : 02-880-5461 팩스 : 02-875-2488 http://isrc.snu.ac.kr